XQ15-GI 激光平面干涉仪技术规格：
1、*标准平面（A面），工作直径D1=φ146mm，平面的面形偏差小于0.03μm（λ/20）
2、第二标准平面（B面），工作直径D2=φ140mm，平面的面形偏差小于0.03μm（λ/20）
3、准直系统：工作直径φ146mm，孔径F/2.8，焦距f=400mm
4、测微目镜：焦距f=16.7mm；
5、视场角：2W=40?；放大倍数β=15X
6、成像物镜：D=7，F=16
7、光源规格：ZN18（He-Ne）
8、干涉室尺：φ480*380*285mm
 

是一种使用方便的光学精密计量仪器，主要用于精密测量光学平面度。
激光平面干涉仪工作时对防震要求一般。该仪器可应用于光学车间、实验室、计量室。如配购相关的必要附件，可精密测量光学平板的微小楔角、光学材料折射率n的均匀性，光学镀膜面或金属块规表面的平面度

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