瑞士Safematic电镜制样设备：CCU-010 LV离子溅射和镀碳一体化镀膜仪（SP-010+CT-010）

紧凑型、模块化和智能化
CCU-010为一款结构紧凑、全自动型的离子溅射和/或蒸发镀碳设备，使用非常简便。采用的插入式设计，通过简单地变换镀膜头就可轻松配置为溅射或蒸镀设备。在镀膜之前和/或之后，可以进行等离子处理。模块化设计可轻松避免金属和碳沉积之间的交叉污染。

特点和优点
✬高性能离子溅射、蒸发镀碳和等离子处理
✬专有的碳源设计–多达数十次碳镀膜，无需用户干预
✬的即插即用溅射和蒸碳镀膜模块
✬的真空性能和快速抽真空
✬结构紧凑、可靠且易于维修
✬双位置膜厚监控装置，可兼容不同尺寸的样品
✬的溅射头可确保镀膜质量并延长连续运行时间

巧妙的真空设计
CCU-010 LV精细真空镀膜系统专为SEM和EDX的常规高质量溅射镀膜和镀碳而设计。模块化的设计可将低真空单元后续很轻松地升级为高真空单元。特别选择和设计的材料、表面和形状可大大缩短抽真空时间。

SP-010溅射模块
SP-010溅射模块连续镀膜时间长，非常适合需要较厚膜的应用。 可选多种溅射靶材，适合SEM等导电薄膜应用。
SP-010是电子显微镜中精细颗粒贵金属镀膜的理想工具。对于极细颗粒尺寸镀膜，推荐使用涡轮泵抽真空的CCU-010 HV版本。
 

CT-010碳蒸发模块
紧凑的插入式碳蒸发模块为镀碳树立了新，非常适合SEM等需要高质量碳膜应用的场合。CT-010可以进行多达数十次涂层的镀膜，而无需更换碳源。可对温度敏感的样品进行温和的蒸镀薄膜，也可对中厚膜层应用进行高功率闪蒸镀碳。

GD-010辉光放电模块
可选的GD-010辉光放电系统进行表面处理，例如，使碳膜亲水。

HS-010真空储存箱
HS-010真空储存箱可在真空条件下存放备用镀膜头、靶材等附件，使它们处于清洁状态。

ET-010等离子刻蚀单元
在对样品进行镀膜之前或镀膜之后，可对样品进行等离子刻蚀处理。

Coating-LAB软件
使用基于PC的Coating-LAB软件，可查看包括图表信息在内的处理数据。

RC-010手套箱应用的远程控制软件
◎基于window的远程控制软件
◎创建和调用配方
 

可选多种样品台
CCU-010提供一个直径不小于60mm的样品台，该样品台插入到高度可调且可倾斜的样品台支架上。可选其它专用的旋转样品台、行星台、载玻片样品台等。

CCU-010 LV普通真空镀膜仪版本
作为真空镀膜系统的基础单元，CCU-010 LV 专为 SEM 和 EDX 的常规高质量溅射和/或碳镀膜而设计。客户可选择：

CCU-010 LV磁控离子溅射镀膜仪；

CCU-010 LV热蒸发镀碳仪；

CCU-010 LV离子溅射和镀碳一体化镀膜仪；

CCU-010 LV手套箱专用镀膜仪。