低温等离子清理的运用，始于20新世纪初，随之新科技产业链的迅速发展趋势，其运用愈来愈广，现阶段已在诸多新科技行业中，处于核心技术的影响力。低温等离子清理技术性对产业发展和人类发展史危害较大，首先推荐电子器件资讯工业，特别是在是半导体业与光学工业生产。随之愈来愈多应用领域到等离子清洗机，如何选择合适自身的等离子清洗机就变成了大家的一个难题，今日人们就来谈一谈真空泵等离子清洗机该怎样电机选型。

　　真空等离子清洗机该怎样电机选型，人们关键从下列好多个层面来考虑到。

　　我们从腔体尺寸来明确等离子清洗机的型号规格，腔体尺寸关键从下列2个层面予以考虑。

　　一、工件的尺寸

　　一般来说真空等离子清洗机的归类得话关键是依照腔体规格和腔体材料来分的，选择腔体规格时个要考虑到的就是说工件尺寸，也就是说人们少要可以工件放下去，假如工件连放都放不下来，再考虑到别的要素都没有多少的实际意义。

　　二、生产能力

　　一切商品假如有生产能力规定得话，毫无疑问是必须依据生产能力选择腔体尺寸，腔体越大也就代表一次能解决的商品也就大量，假如对生产能力沒有过多规定得话，优先选择考虑到工件尺寸。在工件可以学会放下的前提条件下，人们在依据产能计算算出适合的腔体规格。

　　第二个人们要考虑到的难题，就是说选择哪样頻率的等离子清洗机

　　頻率的选择

　　现阶段普遍的頻率有40KHz和13.56MHz，20Mhz。40kHz的自偏压为1000V上下，13.56MHz自偏压为250V上下，20MHz的自偏压则更低，这三种激起頻率的体制不一样，40kHz产生的反映为物理学反映，13.56MHz产生的反映具有物理学反映又有化学反应，20MHz有物理学反映但更关键的反映为化学反应，必须对原材料开展活性、改性材料的得用13.56MHz或是20MHz的等离子技术清理40kHz的自偏压为1000V上下，13.56MHz自偏压为250V上下，20MHz的自偏压则更低，这三种激起頻率的体制不一样，40kHz产生的反映为物理学反映，13.56MHz产生的反映具有物理学反映又有化学反应，20MHz有物理学反映但更关键的反映为化学反应，必须对原材料开展活性、改性材料的得用13.56MHz或是20MHz的等离子技术清理。

　　腔体材料的选择。

　　现阶段普遍的腔体材料有下列几类，方解石腔体，不锈钢板腔体，铝合金型材腔体，三种腔体都有各的优点，方解石腔体溫度低，且不容易产生反映。铝合金型材腔体的优点：
1、 铝合金密度低，抗压强度高，超出优质钢，机械加工制造特性较为好。
2、 铝具备优质的导电率、传热性和抗蚀性。
3、原材料对化学反应的兼容模式较为好，不容易造成金属材料环境污染等。

　　机械泵的选择

　　是选择国内的泵，還是進口的，是干泵還是汽油泵，是单极泵，還是双极泵，每一种机械泵的选择能够依据顾客的具体必须来选择，这儿也不做过多的过多阐释。

　　供气的选择

　　普遍的真空泵等离子清洗机全是两路口汽体安全通道，可是这并不可以考虑全部的解决要求，假如必须大量的反映汽体，那麼汽体安全通道还要适度提升，这一都是依据顾客的具体要求来选择几路汽体安全通道。