俗话说，工欲善其事，必先利其器。一个好的机器设备常常可以事半功倍。不管这台机器有多好，它都需要保养。下面为大家分享一下常见的等离子清洗机的维护保养事项。

等离子清洗机的保养事项:

1. 定期检查真空泵油

每月定期检查真空泵的油位和油纯度。观察油位窗口。当油位接近低红线时，将其加到油位红线上下位置。观察油的颜色。正常的油是干净透明的。当油混浊、真空泵噪声异常时，及时更换真空泵油。

2. 清洗反应室

首先用无水乙醇脱脂棉布擦拭真空室。

然后引入腔体(氩+氧)或(氮+氧)，等离子体用于去除腔体中的残留物质。每月至少工作10分钟。

3.检查气体管道的真空密封是否完好

定期检查真空系统的完整性，应在*清洗反应室后进行，以避免在反应室中丢失污染。定期检查反应室的门密封是否松动。

检查各管路是否连接紧密，老化等问题。

4. 检查电源连接

电压是否与设备匹配

无论什么时候我们使用任何机器和设备对其进行维护，这样不仅能保持设备的稳定性和准确性，而且还能延长设备的使用寿命。