大量的离子，自由基等活性粒子在等离子表面处理机作用于固体样品的表面，不仅消除了原始表面污染物和杂质，但也会产生腐蚀作用，连接处的样品的表面，形成许多增大样品的比表面积，提高固体表面的润湿性。

等离子体的形成是利用电容板或磁感应技术在气体区域产生的，在足够低的压力下，电子加速和电子与中性原子或电场线的弹性散射的共同作用导致电子加热。