序号

项目

高真空机组技术参数

真空扩散泵

机组所配各泵技术参数

主泵

前级泵

01

设备名称

高真空机组

油扩散泵

旋片真空泵

02

型号

JKT200

KT-200

2X-15

03

极限压力

6.7×10-4 Pa

6.7×10-4 Pa

1 Pa

05

功率

4 Kw

加热功率1.6-2Kw

1.5Kw

06       

机组抽速

600 L/S

2000 L/S（裸泵抽速）

15 L/S

07

启动真空

10 Pa

常压

08

预热时间

≤35min

09

高真空机组配置

名称

型号

数量

备注

油扩散泵

KT200

1台

旋片真空泵

2X-15

1台

冷阱

SD-200

1个

气动挡板阀

GDQ-S200

1个

高阀

气动挡板阀

GDQ-J50

1个

预抽阀

气动挡板阀

GDQ-J50

1个

前级阀电磁压差阀

DYC-Q50

1个连接管路、波纹管

1套

复合真空计

ZDF-5227

1台

电控柜

1台