本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：如作为CVD系统使用，需自备气源（标准带有宝塔接头，可自费改制成为双卡套接头）

4、工作台：尺寸1200mm×600mm×700mm，承重300kg以上

5、通风装置：需要

技术参数

1、电源：AC 220V  50Hz/60Hz  3KW（需要30A的空气开关）

2、氧化铝管：外径Ø60mm，内径Ø54mm，长790mm

3、加热元件：1750℃级硅钼棒

4、加热区域：300mm

5、工作温度：连续800-1600℃

6、升降温速率：10℃/min

7、控温精度：±1℃

8、真空压力：可达50mtorr

产品规格

尺寸：445mm×380mm×615mm；重量：100kg

标准配件

1

氧化铝管

1根

2

氧化铝管堵

4个

3

不锈钢法兰

1套

可选配件

1、移动炉架

2、波纹管

3、数字真空计

4、KF25转接头

5、不锈钢卡套接头