本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地。

3、气：如作为CVD系统使用，客户需自备气源（标准带有宝塔接头，可自费改制成为双卡套接头）。

4、工作台：尺寸600mm×600mm×700mm，承重100kg以上

5、通风装置：需要。

技术参数

1、电源：AC 220V   50Hz/60Hz  2.5KW

2、石英管：外径Ø50mm，内径Ø44mm，长1000mm

外径Ø60mm，内径Ø54mm，长1000mm

外径Ø80mm，内径Ø74mm，长1000mm

外径Ø100mm，内径Ø94mm，长1000mm

3、加热元件：掺钼铁铬铝合金电阻丝，表面涂有氧化锆

4、加热区域：440mm

5、工作温度：最高1200℃（必须通入惰性气体以防止炉管发生形变），连续工作1100℃

6、最大升降温速率：20℃/min

7、控温精度：±1℃

8、真空度：10-2torr（机械泵），10-5torr（分子泵）

9、泄漏率：<5mtorr/min

产品规格

尺寸：590mm×380mm×520mm；重量：40kg

标准配件

1

石英管

1根

2

不锈钢真空法兰

1套

可选配件

1、铰链式法兰

2、数字真空计

3、PC控制软件