安装条件

本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：如作为CVD系统使用，需自备气源（标准带有宝塔接头，可自费改制成为双卡套接头）

4、工作台：尺寸600mm×600mm×700mm，承重100kg以上

5、通风装置：需要

技术参数

1、电源：AC220V 1.2KW

2、石英管：外径Ø25mm，内径Ø20mm，长450mm

                    外径Ø50mm，内径Ø43mm，长450mm

3、加热元件：掺钼铁铬铝合金电阻丝，表面涂有氧化锆

4、加热区域：200mm

5、工作温度：最高1200℃（<1h），连续工作1100℃

6、最大升降温速率：10℃/min

7、控温精度：±1℃

8、真空度：10-2torr（机械泵）

产品规格

尺寸：750mm×300mm×400mm；重量：18kg

标准配件

1

氧化铝管堵

2套

2

不锈钢法兰

1套

可选配件

1、石英管堵

2、波纹管

3、数字真空计

4、KF25转换接头

5、卡套接头（Ø6.35mm，可使炉管内获得微正压）