Nano Indenter G200是一套完整的纳米力学显微探针系统，其功能包括了纳米压痕、纳米划痕以及纳米力学显微镜等。整个测试流程都是全自动的，这样就提高了测试数据的可靠性和可重复性。

G200主要特性与技术指标

   符合 ISO 14577 标准的测量结果

   具有更大动态范围的电磁驱动器

   具有灵活性，以及针对可重复使用或全新应用的可升级能力

   通过压痕深度处的连续刚度测量，实现动态特性表征

   实时控制、简便的协议开发和漂移补偿

优势

   精确的测量结果，高度的再现性，符合IS014577国际标准，GB／T 22458-2008国家标准。

   载荷和位移的动态测量范围在同类产品中

   利用连续刚度测量技术对压入深度方向的动态力学性能进行精确的表征

应用

  半导体材料

  薄膜材料

  微机电系统

  硬质涂层

  DLC膜

  生物材料

Nano Indenter G300配备支持试样直径为12英寸的样品台,可对各种不同尺寸晶圆片直接进行力学性能检测，不需要破坏晶圆片就可以获得上面任意位置的力学性能，整个实验过程全自动控制，避免了可能的人为因素的影响，确保每个测试都是合理、一致、精确。

优势

   配有大样品台，样品直径可达300毫米

  全自动控制，避免人为因素影响测试结果

  应用范围广泛，升级方便

  利用连续刚度测量技术对压入深度方向的动态力学性能进行精确的表征

  精确的测量结果，高度的再现性，符合IS014577国际标准，GB／T 22458-2008国家标准。

应用

  半导体材料

  微机电系统

  薄膜材料

  复合材料

  金属材料

  陶瓷制品