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日立2005年在中国推出了S-4800型高分辨场发射扫描电镜，由于出色的应用性能、良好的稳定性和简易的维护，收到了各界用户的*好评。
日立2011年新推出了它的后续机型---- SU8010日立扫描电子显微镜，它继承了S-4800的优点，性能有进一步提高，1kv使用减速功能后，分辨率提升到1.3nm，相对于S-4800可以在更低的加速电压下呈高分辨像，明显提升了以往很难观测的低原子序数样品的观测效果。
SU8010日立扫描电子显微镜特点：
1. 优秀的低加速电压成像能力，1kv分辨率可达1.3nm
2. 日立的ExB设计，不需喷镀，可以直接观测不导电样品
3. Upper探头可选择接受二次电子像或背散射电子像
4. 可以根据样品类型和观测要求选择打开或关闭减速功能
5. 标配有冷指、电子枪内置加热器，物镜光阑具有自清洁功能
6. 仪器的烘烤维护及烘烤后的透镜机械对中均可由用户自行完成
SU8010日立扫描电子显微镜的技术规格：
| 二次电子分辨率 | 1.0nm（加速电压15kV、WD＝4mm） | |
| 1.3nm（加速电压1kV、WD＝1.5mm） | ||
| 加速电压 | 0.1～30kV | |
| 观测倍率 | 20～8000,000(底片输出) | |
| 60～2,000,000（显示器输出） | ||
| 样品台 | ||
| 马达驱动 | 3轴马达 | |
| 5轴（选配） | ||
| 行程 | X | 0～50mm |
| Y | 0～50mm | |
| Z | 360° | |
| T | -5～70° | |
| R | 1.5～30mm | |
| zui大装载尺寸 | 100mm（zui大） | |
| 150mm（选配） | ||
| 探头 | ||
| 标配 | Lower | 高立体感图像 |
| Upper | 高分辨SE、BSE图像 | |
| 选配 | STEM | 明场像、暗场像 |
| YAG 探头 | BSE图像 | |
| 半导体探头 | BSE图像 | |
| EBIC | 电子束感生电流图像 | |
| EDS | 元素分析 | |
| 反污染措施 | ||
| 冷指 | 标配 | |
| 物镜光阑 | 内置自清洁功能 | |
| 电子枪 | 内置加热器 | |
| 真空系统 | ||
| 离子泵 | 3台 | |
| 分子泵 | 1台 | |
| 机械泵 | 1台 | |
