Park systems NX10
创新的功能满足创新的工作

准确成像, 无交叉耦合现象
- 业界的XYZ轴线性度，样品和探针分别由独立的柔性制导扫描器控制移动
- zui低的平面偏移度，全程水平扫描时平面偏移量不超过1纳米
- 垂直扫描器全程伸缩时，线性度优于0.015%
- 优化的水平扫描器ringing现象, 科学的正向sine-scan算法

准确扫描，真正的非接触模式
- 业界的垂直扫描器，带宽超过9kHz，探针垂直伺服响应速度超过62mm/sec
- 在非接触模式下zui快的扫描速度
- 极低的探针磨损，能够保证长时间的高质量扫描
- 极低的样品损伤

准确测量，真正的样品形貌
- 采用业界的低噪声迟滞检测器测量样品形貌
- 业界的极小正反测量偏离量，小于0.15%
- 采用优化的散热部件，*地降低了系统热漂移和迟滞现象
- 功能强大的*隔音罩，舱体内部主动控温用户工作效率
- 开放式的设计，方便更换探针和样品
- 探针预定位装夹设计，简单便捷的测量激光调节过程，具有的自上至下的直观观察系统
- 创新的“十秒进针”功能，探针可自动高速完成进针操作
- 24位数字电控箱，三组内置锁存放大器，具备Q-control和弹性常数校准功能
 
*　技术参数
 
XY扫描器

   闭环控制式单模块柔性XY扫描器。

扫描范围: 50 μm × 50 μm (可选 100 μm × 100 μm)
分辨率: 0.05 nm
定位检测噪音: < 0.3 nm (带宽: 1 kHz)
水平线性: < ２nm (over 40 μm scan)
 
Z扫描器
柔性引导高力度扫描器
扫描范围: 15 μm (可选 30 μm)
分辨率: 0.015 nm
定位检测噪音: 0.03 nm (带宽: 1 kHz)
共振频率: > 9 kHz (typically 10.5 kHz)
表面成像噪音: < 0.03 nm (0.02 nm typical)
 
光学系统
可观察样品和探针的直视同轴光学系统
视场: 480 × 360 μm (10× objective lens)
CCD: 1M像素（像素分辨率: 0.4 μm）
 
物镜
10x (0.21 NA) 超长工作范围的镜头(1 μm分辨率)
　20x (0.42 NA) 高分辨率长工作范围的镜头(0.6 μm 分辨率)
 
信号处理
ADC: 18个通道
         4 个高速 ADC 通道 (50 MSPS)
         X,Y和Z扫描器定位传感器的24-bit ADCs
DAC: 12 信道
         2 个高速 DAC 通道 (50 MSPS)
         X,Y和Z扫描器定位的20-bit DACs
zui大数据大小: 4096 x 4096 像素
  
集成功能
3个通道数字锁相放大器

   热噪声法标定弹性系数
   数码Q控制

 
外部信号介入
20个嵌入式信号输入/输出端口
5个TTL输出: EOF, EOL, EOP, Modulation和AC bias