原子吸收光谱仪由五部分组成，分别为激发光源、原子化器、单色器、检测与控制系统、数据处理系统，此外还有仪器背景校正系统。
 

　　1、光源发射被测元素的特征光谱必须是锐线光源,如:空心阴极灯(HCL)、无极放电灯(EDL)等。锐线光谱要求有足够的强度、背景小、稳定性。
 

　　2、原子化器(atomizer)
 

　　可分为预混合型火焰原子化器(premixedflame atomizer),石墨炉原子化器(graphitefurnace atomizer),石英炉原子化器(quartz furnace atomizer)，阴极溅射原子化器(cathodesputtering atomizer)。
 

　　a.火焰原子化器：由喷雾器、预混合室、燃烧器三部分组成
 

　　特点：操作简便、重现性好
 

　　b.石墨炉原子化器：是一类将试样放置在石墨管壁、石墨平台、碳棒盛样小孔或石墨坩埚内用电加热至高温实现原子化的系统。其中管式石墨炉是常用的原子化器。
 

　　c.石英炉原子化系统：是将气态分析物引入石英炉内在较低温度下实现原子化的一种方法，又称低温原子化法。它主要是与蒸气发生法配合使用(氢化物发生，汞蒸气发生和挥发性化合物发生)。
 

　　d.阴极溅射原子化器：是利用辉光放电产生的正离子轰击阴极表面，从固体表面直接将被测定元素转化为原子蒸气。
 

　　3、分光系统(单色器)
 

　　分出被测元素谱线(或共振线)。由凹面反射镜、狭缝或色散元件组成；色散元件为棱镜或衍射光栅；单色器的性能是指色散率、分辨率和集光本领。
 

　　4、检测与控制系统
 

　　检测器用来完成光电信号的转换，即将光信号转换为电信号，检测器一般用光电倍增管，近年来固体检测器(面阵CCD等)也开始得到应用。控制系统用来控制和协调光谱各部件工作，AAS大部分采用单片机或通用PC机控制。
 

　　5、数据处理系统通过PC机软件实现信号积分、连续平均值、峰高、峰面积的记录，同时计算出多次测量的平均值及相对标准偏差，对工作曲线采用不同的拟合，报出(打印输出)测量结果等。