机械研磨仪载具膜预防保养方法包括下列步骤：
（a）一化学机械研磨机上，其具有一研磨主轴、可拆装地设置于该研磨主轴上一研磨具，其该研磨载具具有数个抽气孔、一可拆装导环以及一载具膜，用激光预先加工所述载具膜上与该抽气孔对应数个孔洞；
（b）当该化学机械研磨仪需预防保养时，将该研磨载具从该研磨主轴上拆下；
（c）将该导环从该研磨载具拆下且去除原有载具膜后，对该研磨载具进行清洁处理；
（d）研磨仪将新载具膜与对孔板对准，其该对孔板上具有与该抽气孔对应数个*销孔，且每一*销孔上设有一固定销，当该载具膜与该对孔板对准时，每一固定销穿过该孔洞；
（e）将该载具膜与该对孔板一起放置该研磨载具上，使每一固定销依序穿过对应孔洞、抽气孔；
（f）将该载具膜粘贴该研磨载具上，且移去该对孔板；以及
（g）将该导环安装至该研磨载具后，将该研磨仪载具安装至该研磨主轴上。