进口PVA TePla 等离子体清洗机

    德国PVA TePla射频等离子体清洗机，腔体采用模块化设计，可以根据产品需要更换不同腔体，满足客户需要。

*液态单体功能，除常规的工艺气体外可以接入液态单体作为工艺源料。

规格参数：

铝制/石英腔体，模块化设计，可根据产品需要，更换滚筒、粉末滚筒、垂直极板、平行极板、料盒极板、水冷极板等多种腔体结构。

13.56MHz风冷射频电源（0-300w/0-600w/0-1250任意可调电源）

自动功率匹配

zui多6路工艺气体

3路MFC,

可选配液态单体操作装置

可选配法拉第网

压力控制装置

外形尺寸：775 x 723 x 781 mm/737×1980×1118 mm/635×1120×1473 mm

应用领域：

去除光刻胶photo-resist stripping
表面精密清洁surface precision cleaning
表面活化 surface modification
提高表面粘合性 bond strength enhancements
改变表面亲水性/疏水性 hydrophilic/hydrophobic
分子接枝 molecular grafting
涂层 plasma deposited coatings