上海微系统所狄增峰研究员团队“人造蓝宝石晶体介质助力低功耗芯片发展”研究成果入选“中国芯片科学十大进展”
- 2025-10-23 08:48:5218477
来源：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
10月15日，第三届芯片大会暨Chip 2024中国芯片科学十大进展颁奖典礼于深圳盛大开幕，在深圳市领导、院士嘉宾、产学研各界1500人见证下，Chip期刊正式发布「Chip 2024中国芯片科学十大进展」及「Chip 2024中国芯片科学十大进展提名奖」。
上海微系统所狄增峰、田子傲团队开发的面向二维集成电路的单晶金属氧化物栅介质晶圆研究成果入选“Chip 2024中国芯片科学十大进展”。
该研究团队开发了一种创新的金属插层氧化技术，技术的核心是室温下精准操控氧原子逐层嵌入铝晶格，形成有序单晶氧化铝。该材料即便仅1纳米厚，仍能保障电子传输稳定、阻止电流泄漏，可显著提高芯片能效。